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基本工藝流程：
1、碳纖維預制體——高溫處理——壓力浸漬——碳化——機械加工——石墨化——陶瓷化——后續加工
2、碳纖維預制體——高溫處理——化學氣相沉積——機械加工——石墨化——陶瓷化——后續加工
| 設備類型 | 化學氣相沉積爐 | 真空石墨化爐 | ||||
| 參數/型號 | I/VCVD-0610 | I/VCVD-1120 | VCVD-2632 | VIG-0610 | VIG-1120 | VIG-252540 |
| 工作區尺寸W×H×L（mm） | φ600×1000 | φ1100×2000 | 2600×3200 | φ600×1000 | φ1100×2000 | 2500×2500×4000 |
| 最高溫度（℃） | 1200 | 1200 | 1200 | 2600 | 2600 | 2600 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±20 | ±15 | ±20 | ±20 |
| 極限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 加熱方式 | 電阻/感應 | 電阻/感應 | 電阻 | 感應 | 感應 | 電阻 |
| 設備類型 | 滲硅爐 | 真空碳化爐 | ||||
| 參數/型號 | ISII-0610 | ISII-1120 | VSII-121220 | VVC-0610 | VVC-1120 | VVC-131320 |
| 工作區尺寸W×H×L（mm） | φ600×1000 | φ1100×2000 | 1200×1200×2000 | φ600×1000 | φ1100×2000 | 1300×1300×2000 |
| 最高溫度（℃） | 2000 | 2000 | 2000 | 1000 | 1000 | 1000 |
| 溫度均勻性（℃） | ±15 | ±20 | ±15 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 加熱方式 | 電阻/感應 | 電阻/感應 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼/Q345
保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈/金屬
加熱器材質：石墨/CFC/金屬
馬弗材質：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號
紅外儀：單比色/雙比色
電源：KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)
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